微导纳米：国产ALD设备领军者。公司以原子层堆积（ALD）技能为中心，专心于先进微纳米级薄膜堆积设备的研制与使用。公司事务包含光伏、半导体以及柔性电子范畴。根本的产品在光伏范畴使用于新一代高效太阳能电池（TOPCon、XBC）的薄膜堆积，在半导体范畴使用于先进逻辑芯片、新式存储芯片、化合物半导体、新式显现芯片等的薄膜堆积。通过多年技能堆集，公司产品已抵达世界抢先水平。近年来，公司业绩敏捷添加，营收由2018年的0.42亿元增加至2021年的4.28亿元，CAGR高达117%。现在，公司已掩盖包含通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等在内的多家闻名太阳能电池片生产商。半导体范畴先后取得多家国内闻名半导体公司的商业订单，并与多家国内干流半导体厂商及验证渠道签署了保密协议并展开产品技能验证等作业。

  先进工艺演进，催生ALD需求增量。ALD可在杂乱描摹上，完结可操控于原子层精度的高质量薄膜堆积，因此在光伏与半导体的先进工艺中均有光伏使用。1）半导体范畴，ALD在45nm以下具有宽广使用场景，用于High-k介质，多重曝光，3D结构刻画等。据Gartner数据，2021年ALD在全球薄膜设备商场中占比抵达13%，抵达27亿美元。2）光伏范畴，N型电池年代降临，现在产业化远景最为清晰的TOPCon电池和HJT电池关于薄膜堆积设备需求旺盛。尤其在TOPCon电池产线中，薄膜设备约占总设备出资的33-40%，带来更大的需求增量。获益于N型电池的加快浸透，2022年公司订单大幅度增加，到2022年Q3在手订单挨近20亿元，同比增加超越120%。

  半导体+光伏双轨开展，国产化代替打破完成。半导体范畴，公司是国内首家成功将High-k原子层堆积设备使用于28nm集成电路制作前道量产线的国产设备公司，打破了世界厂商的独占。公司作为国内半导体ALD技能领军者，设备要害性能参数抵达世界水平，已在逻辑芯片、先进存储、化合物半导体等多个细分使用范畴取得商业订单。光伏范畴，公司创始将ALD技能使用于光伏规模化量产，研制出PECVD技能双渠道，具有TOPCon整线工艺处理才能，具有ALD、PEALD二合一、PECVD、分散退火炉一系列齐备的光伏薄膜设备产品阵列，尤其在ALD环节坚持国内商场抢先优势。

  出资主张：微导纳米作为国内ALD设备有突出贡献的公司，在光伏范畴继续拓宽产品线，在半导体ALD范畴亦完成打破。咱们估计公司2022-2024年收入分别是6.03/11.99/16.72亿元，归母净利润分别为0.32/1.19/2.01亿元，对应现价PE分别为398/107/63倍。咱们看好公司在ALD环节的国产代替潜力，初次掩盖，给予“引荐”评级。

  危险提示：技能迭代危险；下流扩产没有抵达预期的危险；新产品验证进展没有抵达预期的危险。